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MHS系列混合干泵

产品范围:
半导体设备通用设备
应用领域:
半导体制造及服务

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产品介绍:

MHS 系列罗茨-螺杆混合干式真空泵是结合了螺杆转子与多级罗茨的各自优势: 全新结构:混合干式真空泵,同等抽气能力下,体积更小 节能:同类产品对比电耗节能50%以上;氮气耗量低至60%以上 低噪音:无需消音器,噪音68dBa; 易维护:尾端螺杆无需拆泵、就地可快速清洗维护、更换 排粉尘能力强:同类产品气流通道最短,无死角。 抗腐蚀能力强:多个独立腔体,采用不同抗蚀材质,适应各类工艺介质 适应高速节拍:高达2600次/天,101300Pa至10Pa的节拍运行。

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