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MS系列干式螺杆泵
产品范围:
半导体设备通用设备
应用领域:
半导体制造及服务
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产品介绍:
MS系列是迈科微真空团队自主研发设计制造的一款节能型无油干式螺杆真空泵,采用直连驱动结构,可以选配变频电机或者防爆电机。1、极限真空度更高:可以实现高转速,从而达到更高的真空度,在高转速下依然可以保持较低的震动和噪音。 2、节能效果显著:相比等螺距螺杆泵,变螺距螺杆泵同等抽气能力下体积更小,能耗更低。3、适用恶劣工况:工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层,能够适应带粉尘颗粒物和一般性的腐蚀性气体的恶劣工况。
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