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ALD阀门(UHP) 原子层沉积高速控制阀
行业类别：
半导体技术及应用展
产品范围：
半导体核心零部件&&&@@@泵/半导体阀门/压力
应用领域：
半导体制造及服务
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产品介绍:
● 高速驱动，超高循环寿命 ● Cv 范围为 0.27 ~ 0.62 ● 采用耐热执行器，使用温度高达 392°F (200°C) ● 可选购电子或光学执行器位置传感 ● 采用 316L VIM-VAR 不锈钢本体，适用于超高纯应用 ● 模块化表面安装，管道对接焊接和 VC (VCR) 端口连接
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