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埃科智能对焦系统
行业类别：
半导体技术及应用展
产品范围：
半导体核心零部件&&&@@@机器视觉
应用领域：
半导体制造及服务
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产品介绍:
埃科研发的智能对焦系统(IFS)采用线激光辅助主动对焦技术，通过采集对应样品表面反射的激光信号，主动感知物镜到对焦样品表面的距离，并根据物镜的离焦状态实时确定并输出运动机构的控制信号，控制物镜运动到对焦位置，保证成像系统始终采集到高对比度图片。 ◎ 高速实时跟焦 ◎ 亚微米级追焦精度 ◎ 组件配置灵活 ◎ 场景适应性佳 ◎ 广域对焦范围 ◎ 全栈自研传感器
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