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介质薄膜膜厚量测设备系列
行业类别：
半导体技术及应用展
产品范围：
半导体设备检测和测试设备
应用领域：
半导体制造及服务
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产品介绍:
该系列设备主要应用于晶圆纳米级的单/多层膜、金属膜的膜厚测量，采用椭圆偏振技术和光谱反射技术实现高精度薄膜膜厚、n-k值的快速测量。主要应用在集成电路前道领域。
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