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暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备系列
行业类别:
半导体技术及应用展
产品范围:
半导体设备检测和测试设备
应用领域:
半导体制造及服务
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产品介绍:
该系列设备基于先进的DUV暗场散射平台,配备自适应光瞳滤波系统与high NA镜头,收集晶圆表面缺陷各空间角度的散射光,搭配高速TDI相机和强大算法。该系列设备可用于快速高效地检测图形晶圆加工过程中的各类缺陷,满足国内先进集成电路前道工艺和先进封装等场景的暗场纳米图形缺陷检测需求,应用于国内多家主流芯片客户,关键技术全部自主可控,性能对标行业TOP机型。该系列设备的推出填补了国内产品空白,打破了国外垄断,并逐步实现国产替代。
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