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无图形晶圆缺陷检测设备系列
行业类别：
半导体技术及应用展
产品范围：
半导体设备检测和测试设备
应用领域：
半导体制造及服务
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产品介绍:
该系列设备为全自动化的无图形晶圆表面缺陷检测设备，提供先进的缺陷计数、空间分布和缺陷分类功能，检测表面类型覆盖Bare,Oxide,Nitride,Metal等。设备使用激光以多角度照明至晶圆表面，并通过样品台的多维运动实现全样品表面的快速扫描，综合分析缺陷图像，可检测出缺陷的具体类型和尺度。
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