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半导体晶圆传输专用设备
行业类别：
半导体技术及应用展
产品范围：
半导体核心零部件其他，请注明:::晶圆传输设备
应用领域：
半导体制造及服务
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产品介绍:
真空直驱机械手是半导体制程的核心传输设备，解决了真空腔室内晶圆自动化输送的“卡脖子”难题。新松真空直驱机械手产品拥有领先的重复定位精度、高效的传输节拍、灵敏的碰撞保护以及AWC动态纠偏等功能，可根据用户需求定制手臂长度和手指形式，胜任不同尺寸规格的晶圆搬运。新松真空直驱机械手已通过SEMI权威认证，广泛应用于PVD、CVD、刻蚀等集成电路整机装备中，彻底打破国外技术垄断，核心技术完全自主可控。
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