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ESC 静电吸盘

行业类别:
半导体技术及应用展
产品范围:
半导体核心零部件静电吸盘
应用领域:
半导体制造及服务

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产品介绍:

ESC多用于ETCH、 CVD、 PVD、 IMP等多种制程设备中, 实现晶圆吸附、 校平, 以及温度控制等功能, 隶属半导体设备中高精尖零部件。

展商信息: