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阀板、门板、闸阀
行业类别:
半导体技术及应用展
产品范围:
半导体核心零部件密封圈
应用领域:
半导体制造及服务,工业
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产品介绍:
在半导体制造中,阀板、门板及闸阀是控制高纯介质流动、维持真空及隔离污染的核心组件。我们的产品专为半导体严苛环境设计,具备以下特性: 超高洁净材质:采用PTFE、PEEK、316L不锈钢等材料,表面电解抛光或涂层处理,满足SEMI F20标准,确保零污染。 耐等离子体腐蚀:特殊处理工艺增强抗等离子体侵蚀能力,适用于刻蚀、沉积等高频工艺环境。 长寿命设计:低磨损结构,维护周期延长50%以上,降低设备停机成本。
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