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O型圈密封圈
行业类别：
半导体技术及应用展
产品范围：
半导体核心零部件密封圈
应用领域：
半导体制造及服务,工业
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产品介绍:
作为半导体设备核心密封解决方案，我司O型圈采用全氟醚橡胶（FFKM）、高纯度氟橡胶（FKM）。 超高洁净度：采用全氟醚橡胶，低析出、无颗粒脱落，符合SEMI标准，避免污染晶圆和工艺环境。 耐等离子体&强腐蚀：耐受刻蚀、CVD/PVD等工艺中的等离子体、酸碱性气体及高温（-20°C至+300°C）。 真空密封性：极低渗透率，确保高真空腔体（10⁻⁶ Pa级）长期稳定运行。
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