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三丰白光干涉光学单元 WLI-Unit
行业类别：
半导体技术及应用展
产品范围：
半导体设备检测和测试设备
应用领域：
半导体制造及服务,半导体核心产品,电子制造
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产品介绍:
三丰白光干涉光学单元 WLI-Unit，基于白光干涉技术，通过参考光与测量光的干涉条纹分析，实现工件表面微观形貌检测。垂直分辨率达亚微米级，可精准测量粗糙度、台阶高度、槽深槽宽等。搭配高分辨率相机与光学镜头，支持微小区域成像，视野可调。非接触式测量避免损伤工件，适用于半导体芯片、光学镜片、精密模具等高精度表面检测。广泛应用于科研与制造业，为微观特征分析及品质管控提供可靠数据支撑。
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