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RKU-RKU碌碌高精度高速微细加工机MEGA-Ⅶ400

行业类别:
半导体技术及应用展
产品范围:
半导体设备制造设备
应用领域:
半导体制造及服务,汽车,能源,工业

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产品介绍:

该加工机由始创于 1903 年的日本 ROKU-ROKU 碌碌产业株式会社匠心打造。采用高刚性龙门结构(立柱横梁一体铸造 + 3 点支撑床身),油雾润滑陶瓷滚珠轴承主轴配热分离系统(H.I.S)。X/Y/Z 轴配超精密滚柱导轨、大直径丝杆及 2nm 光栅尺全闭环,定位精度 ±0.5μm,加工精度≤0.005mm。行程 410×330×200mm,标配 20 支 HSK-E25 刀库(可选 40/60支),主轴转速 3000-40000min﹣¹,进给速度 15000mm/min。

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