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功率器件激光退火设备
行业类别:
半导体技术及应用展
产品范围:
化合物半导体及功率器件功率器件
应用领域:
半导体核心产品,汽车,工业
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产品介绍:
设备主要应用于功率半导体制造领域,满足绝缘栅双极晶体管(IGBT)功率器件制程中的激光退火需求,具有大激活深度和高激活率、良好的热效应控制、灵活的衬底应用、低客户拥有成本等优势。
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