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ACT-3100A:亚微米级高自由度平面CT检测设备
行业类别:
半导体技术及应用展
产品范围:
其他,请注明&&&无损检测设备
应用领域:
半导体制造及服务
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产品介绍:
ACT-3100A是工源三仟自主开发的针对晶圆级封装、板级封装在内的先进封装产品、TGV玻璃基板等大尺寸扁平产品进行进行快速高精度X-ray与CT扫描分析的CT设备,对标某进口品牌Q系列产品。工源三仟基于自研的高性能CT成像算法,可大幅降低扫描环节需要的投影数量,提高CT成像速度,结合定制化的晶圆/芯片搬运系统,可实现自动/半自动的检测。
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