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二谐波晶圆检测设备ASPIRER3000
行业类别：
半导体技术及应用展
产品范围：
半导体设备检测和测试设备
应用领域：
半导体制造及服务
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产品介绍:
产品是一款高精度二谐波晶圆检测设备，采用国内首创的二谐波晶圆检测技术，通过激发、采集晶圆产生的二谐波信号检测其电学与晶格特性，实现对晶圆电学性能、薄膜质量、表面质量以及材料质量等方面的全面检测，实现高精度、高效率的晶圆检测，支持检测多种材料，实现在线监测，适用于多种器件、工艺及制程。
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