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XDE FA & Equipment
行业类别：
半导体技术及应用展
产品范围：
其他，请注明
应用领域：
半导体制造及服务
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产品介绍:
XDE FA & Equipment，遵循SEMI 标准对设备进行建模，在提供ModuleBase 的基础上再封装了LoadportBase、AlignerBase、RobotBase、ProcessModuleBase 等基类，并实现了一套能满足半导体设备各种应用场景的设备状态机。
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