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压力控制器
行业类别:
半导体技术及应用展
产品范围:
半导体核心零部件泵/半导体阀门/压力,流量计
应用领域:
半导体制造及服务,半导体核心产品,照明与显示,工业
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产品介绍:
压力控制器可分为Y23系列、YD24系列下游压力控制器/流量计、YSF24系列双阀压力控制器三大系列,产品基于高精度传感技术与智能算法的压力调节设备,专为工业自动化、流体控制等领域设计,产品制造各项技术严格指标严格按照SEMI标准执行,可对几十种气体(包括腐蚀性气体)进行远程传感压力控制,被广泛应用于半导体制造领域的沉积、刻蚀、离子注入等设备中。
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