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气体质量流量控制器/流量计

行业类别:
半导体技术及应用展
产品范围:
半导体核心零部件泵/半导体阀门/压力,流量计
应用领域:
半导体制造及服务,半导体核心产品,照明与显示,工业

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产品介绍:

气体质量流量控制器/流量计可分为超快速响应P24S系列、P21系列、PV24系列、P24HT系列、RFC24系列,产品基于先进半导体传感技术研发的高精度流量测量设备,通过创新的层流压差式原理与MEMS技术结合,实现多气体、多量程、高精度、快速响应的流量控制,精度可达±0.05%F.S,产品可满足定制化需求,包括通讯模式、机械接口、压力需求等,适用于各类高端工艺制程。

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