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激光干涉仪系统
行业类别：
半导体技术及应用展
产品范围：
IC制造封装与测试服务
应用领域：
半导体制造及服务
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双频激光干涉仪是一款基于光学干涉原理的超高精度位移测量系统，广泛应用于半导体制造与量测设备、纳米计量标准、机床性能检测以及前沿科学实验室的精密科研等场景，实现纳米级精度的动态及静态测量。
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