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三相AC208V输入电压:208V±10%、50/60Hz；最大AC输入电流：35A；最大输出功率：10KW；制程气体：AR、N2、02、NF3、H2；点火气体：AR；点火压力：1-8Torr；最大制程气体流量(NF3)：8SLM；输出频率：360~420Khz；离化率：>95%；最大进水温度：30°；远程控制：Analog, Etcher cat。主要用于CVD或者PVD机台做Clean用处，用于解离NF3进行腔室Clean。

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