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ESC电源(Evan-1508K-B)是一款应用于静电卡盘(E-chuck)的工艺电源，能够适应双极工艺应用。具备输出控制多功能性，输出可通过EtherCat通讯或控制盒的控件进行控制。具有集成度高、可以四个通道均可单独开启、相对于单通道成本更低的优点。该ESC电源提供静电卡盘工艺测试所需的控制电源，实时监测静电卡盘的负载电流。

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