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LSA激光退火设备
行业类别：
半导体技术及应用展
产品范围：
半导体设备制造设备
应用领域：
半导体制造及服务
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产品介绍:
UP-LSA系列设备，是一款面向先进逻辑/存储制程的激光退火关键设备，即晶圆前道制程的超浅结USJ（Ultra Shallow Junction）和SD（Source/Drain）退火，实现注入掺杂离子激活和结深控制。
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