Park NX-Wafer

Park NX-Wafer 可进行自动缺陷检测且高吞吐量的低噪声原子力轮廓仪 Park NX-Wafer是半导体行业领先的自动化AFM系统。它提供全面的晶圆厂检查、缺陷检查和CMP剖析。Park NX-Wafer拥有最高的纳米级表面分辨率、一致的亚埃高度精度和优异的尖端锐度，变化极小。其自动尖端更换、实时监控、无标记目标定位和自动分析等功能，使其成为半导体晶圆应用的顶级工具。Park NX-Wafer是业界前沿的半导体及相关制造业自动化AFM计量系统。该系统能提供晶圆制造厂检查和分析、裸晶圆和

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