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集成电路制造用多晶硅抛光液
行业类别:
半导体技术及应用展
产品范围:
半导体材料制造材料
应用领域:
半导体制造及服务
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Poly-306多晶硅抛光液,对标610X,通过Fab 测试并量产 ,各项指标如RR/Defect/CP等与baseline匹配
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