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氧化硅STI/ILD抛光液
行业类别：
半导体技术及应用展
产品范围：
IC制造晶圆制造服务
应用领域：
半导体制造及服务
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DI-109氧化硅抛光液，对标D92XX，在标杆Fab大批量量产，各项指标如RR/Defect/CP等与baseline匹配
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