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立式双腔甩干机
行业类别:
半导体技术及应用展
产品范围:
半导体设备清洁/污染处理设备
应用领域:
半导体制造及服务,半导体核心产品,照明与显示,高校/科研院所
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产品介绍:
FX880系列立式甩干机,适用于晶圆清洗甩干,立式双桶设计 可同时放置 2个花篮,转子需根据使用者的花篮来定制。 为了方便使用,甩干机开门方向分为左开门、右开门两种方式 颜色分为瓷白、暖白两种,可根据使用者的需求进行个性化定制。 程序可根据工艺要求编程(转速、时间等条件) 采用了洁净化处理技术,阀门、接头和管道采用超纯材料 腔体、转子采用316不锈钢材料,表面电化学抛光处理 设备配置能根据客户需求定制各种规格
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