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3M™柔性研磨盘
行业类别：
半导体技术及应用展
产品范围：
半导体材料制造材料
应用领域：
半导体制造及服务
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3M™柔性研磨盘是针对修整CMP研磨垫的变革性解决方案。该柔性研磨盘由耐用的聚合物一体成型，突破了传统钻石研磨盘的限制，帮助实现新的定制和性能水平，具有可调节设计、长寿命以及帮助减少缺陷的潜力。
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