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3M™Trizact™ 研磨盘T系列
行业类别：
半导体技术及应用展
产品范围：
半导体材料制造材料
应用领域：
半导体制造及服务
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3M™Trizact™ 研磨盘T系列采用3M先进的CVD钻石涂层技术制造，具有高度一致性，可控性，高效用于包括先进节点在内的要求越来越严苛的CMP工艺。与传统钻石研磨盘相比，使用微复制技术制造的研磨盘可以精确控制表面形貌从而获得卓越的性能，且不会有微观和宏观的划伤风险。
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