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12inch硅曲面电极
行业类别：
半导体技术及应用展
产品范围：
半导体核心零部件&&&@@@石英件/硅/SiC件/陶瓷件
应用领域：
半导体制造及服务
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产品介绍:
刻蚀设备用硅电极是晶圆制造刻蚀环节所需的核心零部件，其表面有密集微小通孔，在晶圆制造刻蚀环节，硅电极除了作为附加电压的电极，还作为刻蚀气体进入腔体的通路。硅电极的微孔加工以及刻蚀工艺为核心技术，江丰电子通过自主研发，已突破脆性材料微孔加工技术瓶颈和酸性刻蚀和碱性刻蚀工艺，产品已在先进制程验证通过并量产。目前公司产品已经在国内头部集成电路制造和设备厂商验证并实现规模化销售。
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