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超精密洁净气体分配盘
行业类别：
半导体技术及应用展
产品范围：
半导体核心零部件&&&@@@金属零部件
应用领域：
半导体制造及服务
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产品介绍:
成功突破数万微孔加工与阵列超均匀控制技术，打破国际技术封锁。开发智能微孔检测技术，为产品质量保驾护航。创新运用电子束焊接与真空钎焊技术，攻克多层复合流道零缺陷连接难题。同时，研发纳米级表面镀膜工艺，形成抗等离子腐蚀防护层。适用于逻辑芯片高k栅极、3D存储芯片等高端领域。在CVD设备核心部件领域，实现从技术追赶到全球引领的跨越，为半导体薄膜沉积工艺树立新标杆，有力推动先进制程国产化进程。
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