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铲片清洗粘蜡四连抛自动线

行业类别：
半导体技术及应用展
产品范围：
半导体设备制造设备,清洁/污染处理设备
应用领域：
半导体制造及服务
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产品介绍:

该产线是对半导体抛光工艺后的陶瓷盘、硅片进行铲片分离和硅片收集、陶瓷盘存储、陶瓷盘清洗、陶瓷盘贴片的组合式一体机。

展商信息:

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