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全自动RCA清洗机
行业类别：
半导体技术及应用展
产品范围：
半导体设备制造设备,清洁/污染处理设备
应用领域：
半导体制造及服务
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适用于2~12寸晶圆片清洗机；产能：2~6寸 25/50片/批，8~12寸 13/25片/批；颗粒去除率≥99%
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