此款专为大尺寸玻璃基板设计的全自动清洗设备，采用隧道式五段架构（上料→显影→清洗→风干→下料），突破性支持 1500mm×2000mm宽幅玻璃基板处理能力，高压显影单元：可调压力喷射（适配不同光阻需求，分布式清洗单元：多向喷淋覆盖，消除清洗死角，自研风刀干燥：正反面同步气刀吹扫，干燥效率提升40%，传输定位精度±0.1mm，安全防护SEMI GEM认证、故障实时报警、急停。内置FFU系统（洁净度Class 100），药液温控±0.5℃，集成 SECS/GEM通讯模块，支持工厂MES系统对接。