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容道社自主研发的 RPA-600 投影式光刻机具备以下核心性能：精密光刻能力分辨率达 1.5μm，焦深（DOF）6-8μm，套刻精度 3σ ≤ 0.6μm，光强均匀性 <3%，数值孔径（NA）0.158，支持 I-line (365nm)、H-line (405nm)、G-line (436nm) 多波段曝光。兼容 5/6/7英寸掩模版与 4/5/6英寸晶圆，标准产能 100 WPH（片/小时）。紧凑设计：＜4㎡占地面积，显著降低洁净室空间成本。

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