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铜化学机械抛光液
行业类别：
半导体技术及应用展
产品范围：
半导体材料其他，请注明:::抛光
应用领域：
半导体制造及服务
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产品介绍:
安集科技的铜及铜阻挡层化学机械抛光液，用于集成电路制造工艺中铜互连的平坦化，产品已在逻辑芯片、存储芯片等制程上量产使用，持续研发并验证用于下一代技术节点用的产品。
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