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高温细丝炉体
行业类别：
半导体技术及应用展
产品范围：
半导体设备通用设备
应用领域：
半导体制造及服务
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产品介绍:
主要用作半导体、功率器件、集成电路等行业中管式热壁产品的加热装置。可与美国TEMPRESS、美国TYAN、美国THERMCO、荷兰ASM、英国BTU、日本TEL等国外多种型号扩散炉配套（替代进口），采用国外先进的加工工艺，选用进口材料，制作而成。可用于2-8英寸硅片的扩散工艺。
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