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Pleione DtW Hybrid Bonding设备
行业类别:
半导体技术及应用展
产品范围:
先进封装2.5D/3D先进封装
应用领域:
半导体制造及服务
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产品介绍:
Pleione 300 设备是拓荆科技自主研发的高精度芯片对晶圆混合键合设备。可应用于HBM、三维集成芯片,可实现芯片(Die)对晶圆的高精度拾取和键合。设备性能指标均已达到国内同类产品水平。 产品特点: 12英寸/8英寸晶圆适配 兼容多种芯片尺寸和厚度 百纳米级键合后 overlay 前道制程水平的高设备洁净登记 支持自动更换顶针、拾取头和键合头 可与拓荆自研处理设备进行联机生产 高吞吐量和低CoO
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