PF-300M Supra-D 串联高产能平台

PF-300M为拓荆自主研发的串联高产能平台。PF-300M 系列产品可搭载 5 个反应腔，满足客户对不同工艺和膜厚的高效需求。该平台兼容PECVD高端产品pX、Supra-D，以及PEALD Astra反应腔。PF-300M Supra-D 系列产品是面向先进制程的新一代高端产品，采用全新的独立腔室设计，以优异的薄膜稳定性、均匀性、颗粒度表现实现更严格的工艺指标要求。产品特点：串联的高产能平台可搭配多个反应腔，实现产能的优化配置颗粒度表现优异通过S2安全认证和F47标准检验

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