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加热夹克Heating jacket、热氮气系统Hot N2、防回火系统

行业类别:
半导体技术及应用展
产品范围:
半导体设备制造设备
应用领域:
半导体制造及服务

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产品介绍:

广泛应用于包括半导体真空或排气不锈钢之温度维持,以避免内部因低温而造成未反应完全之副生成物(by-product),凝结于管路内壁,造成阻塞或其他降低排气效率差之影响。 软式加热布包(Heating Jacket):维持各种科技产业中所使用的真空管路、气体管路中的温度,依照客户的需求量身订做。 Heating Jacket System : 1.软式加热布包包复(Heating Jacket) 2.温度控制器(Temp. Controller)进行温度控制 3.人机控制箱 Interface

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