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PL121-40 压电惯性位移台
行业类别：
半导体技术及应用展
产品范围：
半导体设备检测和测试设备
应用领域：
半导体制造及服务,工业,高校/科研院所
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产品介绍:
1.压电惯性驱动+光栅闭环控制:使用惯性原理驱动，积累压电陶瓷形变实现更大位移。内置高精度光栅传感器，可实现高精度闭环控制。 2.大负载能力:压电位移台水平放置时，法向最大可带5kg负载，轴向最大可带0.4kg负载。 3.可组合为二维平台:通过将两台设备进行叠放组合，可实现二维平台扫描。 4.静态零功耗:在全步距模式下，位移台具有断电自锁功能，当位移台处于静止状态时，维持其位置不需要消耗能量,可将控制器断电。 5.易用的控制软件:
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