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压电螺钉

行业类别:
半导体技术及应用展
产品范围:
半导体设备检测和测试设备
应用领域:
半导体制造及服务,高校/科研院所

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产品介绍:

螺纹驱动的惯性电机:使用惯性驱动原理,压电堆的激励电压是锯齿波,螺杆以2kHz的频率微步旋转,由于螺杆的自锁特性,压电螺钉有很大的保持力,并且在静止状态下不消耗能量。 调节精度高:每个惯性驱动周期螺杆前进或后退约20nm,驱动频率为2kHz时,速度约为2.4mm/min。 紧凑、模块化的设计:外形尺寸紧凑,对于不同行程的型号只需调整螺杆长度,定制方便。

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