产品图片:
产品介绍:
1.采用柔性铰链系统：柔性铰链系统可实现无摩擦的高精度位移导向，实现纳米级位置控制，同时在极高频率的运动下也不会出现磨损，有较高的使用寿命，无需维护。
2.内置高精度电容传感器:内置电容位移传感器对位移台的运动进行反馈控制，实现纳米级分辨率。与使用应变片进行反馈的系统相比，有更高的闭环精度和闭环刚度，可支持更高速度的位置控制。
3.支持ID芯片功能:运动台内部的ID芯片包含了运动台的伺服控制参数，控制器通过ID芯片识别和适配运动台，因此更换运动台部件无需重新校准。
4.高刚度驱动系统.
