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石英外管/石英长舟/石英保温桶
行业类别:
半导体技术及应用展
产品范围:
半导体材料其他,请注明:::半导体石英制品
应用领域:
半导体制造及服务
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产品介绍:
石英外管因其高纯度、耐高温和抗腐蚀性,在半导体制造中广泛应用,常配合内管用于 CVD 和 PECVD 工艺中的进气与测温,提供纯净稳定的反应环境。石英长舟由高纯石英棒和石英片精密加工而成,主要用于承载硅片(晶圆),确保在高温环境下的尺寸稳定性和工艺一致性。石英保温桶用于半导体工艺中的 CVD、扩散和退火环节,提供稳定高温环境,确保温控精度,提升工艺一致性与产品质量。
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