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前驱体
行业类别：
半导体技术及应用展
产品范围：
半导体材料制造材料,封装材料
应用领域：
半导体制造及服务
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产品介绍:
南大光电在高纯电子材料领域积累的多年研发和产业经验，经过多年的努力目前已经开发了20种高纯前驱体产品并具备批量供应条件，在国内外半导体客户验证通过，进入批量采购阶段，同时研制了各种规格的钢瓶（Canisters）配合产品供应。 2020年12月南大光电已从美杜邦公司取得高纯度硅前驱体的专利技术转让, 专利涉及内容包括 TSA、DIPAS、BDEAS、CCTBA、DIS 和 TEA 等产品的化学成分，生产和应用。
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