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产品介绍:
安全源产品主要应用在离子注入工艺，基于活性炭吸附的负压包装钢瓶技术，可实现钢瓶内部物理负压，安全可靠。目前已经在国内IC客户（≥14nm制程）实现批量使用，国内市占率达到70%以上；
基于压力调节技术构建的安全输送系统（ARC），将剧毒、危化高压易泄露的风险通过负压技术的引入降为零，实现瓶内高压气体，气体出口转换成低压气体，降低客户使用风险。
机械式负压钢瓶，实现混气负压输出（对标 英特格VAC，普莱克斯UPTIME）主要应用产品：11BF3/H2 ；72GeF4/H2
