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EDC系列真空机组
产品范围：
半导体设备通用设备
应用领域：
半导体制造及服务
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产品介绍:
EDC系列真空泵系统是配备了MHS系列的罗茨-螺杆真空泵、冷却水系统（包含集水器、 分水器、电磁阀、温控传感器）、氮气系统（电磁阀组，减压阀、氮气流量计等）、变频器、集成 控制等撬装组成的真空系统。
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