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微型超高纯度的调压阀，内部无弹簧和无螺纹，采用膜片阀芯一体式设计，灵敏的压力控制可提高质量流量控制器（MFC）的性能，适用于OEM / Gas Cabinets / Gas Boxes。适用于气柜（Gas cabinet）、晶体生长（Crystal growing）、扩散炉（Diffusion Furnaces）等应用，采用分离式膜片设计，膜片与阀体之间采用金属对金属密封，有效地防止气体从密封处泄漏。

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HP & UHP高纯及超高纯气体 调压阀系列 （ 背压阀 减压阀 ）

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